高纯氧化铝与半导体级氧化铝是同一种材料吗?


否。半导体设备还可能对痕量金属、颗粒物、等离子体刻蚀、放气、表面处理、清洗、包装以及变更控制等方面提出要求。纯度只是其中的一个影响因素。

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