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哪些陶瓷材料在半导体设备中被广泛使用?
高纯氧化铝和碳化硅应用广泛。氮化硅、氮化硼、氧化锆以及多孔陶瓷也可分别承担不同的功能。最终的选择取决于部件的安装位置及工作条件。
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