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99.7%氧化铝(Al₂O₃)是否始终适用于等离子体刻蚀工艺?
不一定。材料的适用性在很大程度上取决于具体的等离子体化学环境(例如,氟基与氯基气体组分)、射频功率与偏置电压、工作温度、表面形貌、颗粒生成限制以及化学清洗工艺等参数。对于对等离子体腔室敏感度要求较高的部位,我们建议在实际工况下开展材料对比试验并进行原型验证。
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