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我们建议提供完整标注尺寸的工程图纸,其中应包含版本号、设备内的功能位置、工艺气体/液体介质的接触情况、温度/压力/射频特性曲线、现行材料规格及已观察到的失效模式,并附上CTQ尺寸要求、表面粗糙度/平面度限值、颗粒度/洁净度指标以及质量验收标准(ATP)。

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