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在真空设备中,如何选择氧化铝、氮化铝和碳化硅?
氧化铝适用于绝缘支撑件、套管及陶瓷穿壁件;氮化铝适用于既需高导热性又需电气绝缘的加热元件、夹头及热管理部件;碳化硅则适用于对等离子体耐受性、介质耐受性、耐磨性和快速导热性能要求较高的环件、喷嘴、密封件以及高热流密度结构。
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