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在真空设备中,陶瓷部件应重点考虑哪些技术指标?
通常,需同时关注材料的放气行为与颗粒物含量、表面洁净度,以及热稳定性和机械稳定性。建议明确界定真空度、工艺气体、温度与烘烤条件、等离子体环境、绝缘要求、装配应力、表面粗糙度、允许的残留物水平,以及洁净包装要求。
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